石英加工工艺有哪些？

发布日期：2018-05-08 作者：点击：

石英制品由于其内在的一些优良特性受到人们的喜爱，但是石英加工却并不是一件容易事，那么石英常见的加工工艺有哪些呢？下面就由石英加工厂家技术人员为大家介绍一些相关加工工艺。

石英加工工艺

　　石英具有较好的压电效应、绝缘性、温度稳定性、机械性能和高的品质因数,是MEMS器件中一种常用的结构材料。石英的一般加工方法有机械加工、激光加工、干法刻蚀和湿法腐蚀等。机械加工、激光加工的加工质量和精度有限,不适合微结构的加工;干法刻蚀虽然可以得到表面平整的高深宽比结构,但其加工成本高,速度慢,且石英的深刻蚀设备还不够成熟;而湿法腐蚀通过光刻保证精度,加工尺寸小,效率高,成本低廉,适于加工微结构。

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